矽電容壓力傳感器結構與及主要問題與性能特征
      電容壓力傳感器是以矽材料為基礎，利用電容極間距變化將壓力轉換為電容變化，由MEMS工藝製作的傳感器。
　　檢測原理
　　因其檢測原理是采用電容極間距變化，而這種極間距變化本身是非線性的，為了改善非線性，開發出較為複雜的芯體結構，如接觸式、變麵積與變極距相串聯等結構。位移傳感器另一個問題是要解決微弱電容信號的檢測問題。
　　矽電容壓力傳感器性能特征：
　　一、適合批量生產，成本低
　　矽電容壓力傳感器利用MEMS工藝製作，芯片尺寸為3mm×3mm，一個4寸矽片可製作幾百個元件。產品的工藝性好，性能一致，適合批量生產，低成本運行。其製備工藝與IC工藝兼容，工藝裝備無須象矽諧振傳感器的工藝裝備那樣昂貴和複雜，也無須象金屬膜片電容傳感器那樣單件製作，保證了矽電容傳感器具有高的性能價格比。
　　二、穩定性好
　　矽電容壓力傳感器是一種結構型傳感器，壓力傳感器就檢測原理而言，其穩定性優於物性型傳感器，從結構設計角度保證了該類傳感器的穩定性；結構工藝采用全硬封固態工藝，矽-玻璃-金屬導壓管采用靜電封接，減少了用膠封等引起的應力、滯遲和變差；電容對溫度不靈敏，溫度附加誤差小，不需象矽壓阻器件那樣進行複雜的溫度補償。穩定性好是矽電容傳感器深受用戶好感的主要原因之一。
　　三、指標先進
　　電容傳感器本身具有小功率、高阻抗、靜電引力小、可動質量小、發熱影響小的特點，並可進行非接觸測量。矽電容傳感器綜合性能指標如非線性、過載、靜壓、可靠性等性能優於矽壓阻傳感器、陶瓷電容傳感器、金屬膜片電容傳感器。它與矽諧振傳感器相當，特別是用戶追求的非線性指標，通常矽電容傳感器的非線性優於0.05％FS的成品率大於60％。